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周期性微尺度阵列结构在光子晶体和衍射光栅等多种应用中发挥着重要作用。清华大学深圳国际研究生院李星辉研究员团队研究提出了一种偏振全息光刻系统，用于制作具有周期可调谐性的高均匀性微尺度二维交叉光栅结构。该研究成果以“Polarizedholographiclithographysystemforhigh-uniformitymicroscalepatterningwithperiodictunability”为题发表在《MicrosystemsNanoengineering》上。
（Volume7,Articlenumber:31()